产品介绍

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12" 13 slots FOUP (PEI)

型号：CK313HT-C

產品說明

12吋 FOUP 前開式晶圓傳輸盒款式對照
製程	產品編碼	材質	耐溫度	窗型	容量	支撐架	排氣孔間距
一般製程	CK300ST	PC	≤80°C	橘透窗	25 pcs	L+R 一般款	250mm
一般製程	CK313ST	PC	≤80°C	橘透窗	13 pcs	L+R 一般款	160mm
一般製程	CK313ST-M2-O	PC	≤80°C	橘透窗	13 pcs	M type	250mm
一般製程	CK313ST-C2-O	PC	≤80°C	橘透窗	13 pcs	C type	250mm
一般製程	CK313ST-C1-B	PC	≤80°C	ESD黑窗	13 pcs	C type	160mm
一般製程	CK313ST-C2-B	PC	≤80°C	ESD黑窗	13 pcs	C type	250mm
高溫製程	CK313HT-C1-M	PEI	≤150°C	ESD活動氣密窗	13 pcs	C type	160mm
高溫製程	CK313HT-C1-N	PEI	≤150°C	無窗	13 pcs	C type	160mm

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