12" 13 Slots FOUP

型号:CK313
● 依製程需求,可選擇常溫版(ST)或可進烘烤的高溫版本(HT),或全抗靜電版(FE)
● 耐高溫FOUP可達到製程整合,並可選擇可使用薄化晶圓的型號
12吋 FOUP 前開式晶圓傳輸盒 款式對照
製程 產品編碼 材質 耐溫度 窗型 容量 支撐架 排氣孔
間距
一般製程 CK300ST PC ≤80°C 橘透窗 25 pcs L+R
一般款
250mm
一般製程 CK313ST PC ≤80°C 橘透窗 13 pcs L+R
一般款
160mm
一般製程 CK313ST-M2-O PC ≤80°C 橘透窗 13 pcs M type 250mm
一般製程 CK313ST-C2-O PC ≤80°C 橘透窗 13 pcs C type 250mm
一般製程 CK313ST-C1-B PC ≤80°C ESD黑窗 13 pcs C type 160mm
一般製程 CK313ST-C2-B PC ≤80°C ESD黑窗 13 pcs C type 250mm

高溫製程

CK313HT-C1-M PEI ≤150°C ESD活動
氣密窗
13 pcs C type 160mm
高溫製程 CK313HT-C1-N PEI ≤150°C 無窗 13 pcs C type 160mm