12" 13 Slots FOUP - 产品介绍

● 依製程需求，可選擇常溫版(ST)或可進烘烤的高溫版本(HT)，或全抗靜電版(FE) ● 耐高溫FOUP可達到製程整合，並可選擇可使用薄化晶圓的型號 12吋 FOUP 前開式晶圓傳輸盒款式對照
製程	產品編碼	材質	耐溫度	窗型	容量	支撐架	排氣孔間距
一般製程	CK300ST	PC	≤80°C	橘透窗	25 pcs	L+R 一般款	250mm
一般製程	CK313ST	PC	≤80°C	橘透窗	13 pcs	L+R 一般款	160mm
一般製程	CK313ST-M2-O	PC	≤80°C	橘透窗	13 pcs	M type	250mm
一般製程	CK313ST-C2-O	PC	≤80°C	橘透窗	13 pcs	C type	250mm
一般製程	CK313ST-C1-B	PC	≤80°C	ESD黑窗	13 pcs	C type	160mm
一般製程	CK313ST-C2-B	PC	≤80°C	ESD黑窗	13 pcs	C type	250mm
高溫製程	CK313HT-C1-M	PEI	≤150°C	ESD活動氣密窗	13 pcs	C type	160mm
高溫製程	CK313HT-C1-N	PEI	≤150°C	無窗	13 pcs	C type	160mm