6" PEEK CASSETTE

型号:PK-C150
● 產品名稱:6" PEEK Cassette
● 產品編碼:PK-C150
● 產品尺寸:142.0(L) x 177.4(W) x 171.3(H)mm
● 重  量:369g
● 容  量:25 PCS
● 適用晶圓:6 inch (Ø150mm) 晶圓
● 組成材質:PEEK ESD
● 槽  距:4.76 mm
● 耐高溫、高耐磨、高穩定性、抗靜電性材料
● 廠內傳送使用
● 可搭配6" Storage Box氣密保護晶圓
● Cassette依材質特性的選擇參考:
材質 耐溫度 特性 Cassette 應用
PFA Cassette 200~220℃ 耐 強酸 強氟酸 強鹼 酸鹼製程中使用
PP Cassette 40~60℃ 重量輕,
可焊接,缺點易變形。
一般傳輸製程
PEEK Cassette 150~180℃ 硬度高、耐高溫,
不易變形。
PBT Cassette 100~120℃ 抗燃、耐油性佳
PEI Cassette 130~150℃ 耐磨、抗靜電性。