12" PFA 13 SLOTS CASSETTE

型号:PF-C200-T
● 產品名稱:12" Teflon Cassette / PFA Cassette
● 產品編碼:PF-C300-T
● 產品尺寸:355(L) x 180(W) x 325(H)mm
● 重  量:3600g
● 容  量:13 PCS
● 適用晶圓:12 inch (Ø300mm) 晶圓
● 組成材質:Teflon(鐵氟龍) / PFA
● 槽  距:12.7mm
Cassette依材質特性的選擇參考:
材質 耐溫度 特性 Cassette 應用
PFA Cassette
鐵氟龍晶圓盒
200~220℃ 耐 強酸 強氟酸 強鹼 酸鹼製程中使用
PP Cassette 40~60℃ 重量輕,
可焊接,缺點易變形。
一般傳輸製程
PEEK Cassette 150~180℃ 硬度高、耐高溫,
不易變形。
PBT Cassette 100~120℃ 抗燃、耐油性佳
PEI Cassette 130~150℃ 耐磨、抗靜電性。