8" PFA Low Profile

型号:PF-C200-L
產品名稱:8" Teflon Cassette Low Profile/ PFA Cassette
● 產品編碼:PF-C200-L

● 產品尺寸:234.19(L) x 220.5(W) x 159(H)mm

● 重  量:1510g
● 容  量:25 PCS
● 適用晶圓:8 inch (Ø200mm)晶圓
● 組成材質:Teflon(鐵氟龍) / PFA
● 槽  距:6.35mm
Cassette依材質特性的選擇參考:
材質 耐溫度 特性 Cassette 應用
PFA Cassette
鐵氟龍晶舟盒
200~220℃ 耐 強酸 強氟酸 強鹼 酸鹼製程中使用
PP Cassette 40~60℃ 重量輕,
可焊接,缺點易變形。
一般傳輸製程
PEEK Cassette 150~180℃ 硬度高、耐高溫,
不易變形。
PBT Cassette 100~120℃ 抗燃、耐油性佳
PEI Cassette 130~150℃ 耐磨、抗靜電性。